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      全自動氦質(zhì)譜檢漏儀的校準與維護

      更新時間:2024-08-16 點擊量:2598
        全自動氦質(zhì)譜檢漏儀作為高精度檢測設備,在航空航天、半導體制造、核工業(yè)等領域發(fā)揮著重要作用。為確保其長期穩(wěn)定性和準確性,定期的校準與維護是不可少的。以下將從校準和維護兩個方面詳細闡述全自動氦質(zhì)譜檢漏儀的保養(yǎng)方法。
        校準
        1.校準周期與標準
        根據(jù)制造商的推薦和儀器的使用頻率,通常應定期(如每季度或每年)對氦質(zhì)譜檢漏儀進行校準。校準的目的是確保儀器的測量精度符合標準要求。校準應使用具有已知漏率的標準漏孔,其漏率應在儀器的測量范圍內(nèi),并且精度得到保證。
        2.校準環(huán)境與條件
        校準應在穩(wěn)定的環(huán)境溫度和濕度條件下進行,一般建議環(huán)境溫度為(23±5)℃,相對濕度不大于80%,且校準過程中室溫變化不超過±1℃。同時,校準設備周圍應無明顯的溫差、氣流和強電磁場等外部干擾,以保證校準結果的準確性。
        3.校準步驟
        -準備階段:確保儀器處于預熱狀態(tài),所有連接部件安裝正確,無漏氣現(xiàn)象。
        -零點校準:首先進行零點校準,即在沒有氦氣泄漏的情況下,調(diào)整儀器使其示值為零。
        -標準漏孔校準:將已知漏率的標準漏孔接入檢漏儀系統(tǒng),待示值穩(wěn)定后讀取并記錄數(shù)據(jù)。重復測量多次(一般三次),取平均值以減少誤差。
        -數(shù)據(jù)處理:根據(jù)標準漏孔的漏率和檢漏儀的示值計算示值誤差,并進行必要的溫度修正。如果誤差超出允許范圍,需進行進一步的調(diào)整或維修。
        4.自校功能
        部分全自動氦質(zhì)譜檢漏儀具備自校功能。在發(fā)現(xiàn)示值誤差較大時,可利用此功能進行內(nèi)部校準,以恢復儀器的精度。

       

        維護
        1.清潔保養(yǎng)
        -外殼與表面:定期使用柔軟的布或紙巾擦拭儀器外殼和控制面板,去除灰塵和污垢。避免使用刺激性和腐蝕性的化學物品,以防損壞表面材質(zhì)或影響儀器性能。
        -真空系統(tǒng):保持真空腔體、真空管道、真空閥門的清潔干燥。定期清潔這些部件,防止粉塵、顆粒物等污染物進入并污染真空系統(tǒng)。
        2.氦氣供應檢查
        確保氦氣供應充足,并且供應管路未受損。檢查供應系統(tǒng)的壓力表和流量計,確保其正常工作。如發(fā)現(xiàn)異常,及時修理或更換。
        3.真空泵維護
        -定期檢查真空泵泵油位和顏色,如發(fā)現(xiàn)油位過低或油色變深,應及時更換泵油。
        -定期進行前級真空泵的換油和深度保養(yǎng),以及電磁閥組的超聲清洗,確保真空泵的正常運行。
        4.密封性能檢查
        定期檢查真空系統(tǒng)的密封性能和高壓密封接口是否老化,并及時更換老化的密封件。這有助于防止漏氣并維持真空系統(tǒng)的性能。
        5.探測器保護
        漏氣探測器是氦質(zhì)譜檢漏儀的核心部件之一,需特別保護。避免敲擊或損壞探測器,保持其表面干凈和無雜質(zhì)。定期檢查探測器的工作狀態(tài),如有問題及時維修或更換。
        6.軟件與固件更新
        定期關注制造商發(fā)布的最新軟件和固件版本,并根據(jù)需要下載并安裝。這有助于提升儀器的性能和穩(wěn)定性,并修復已知的問題。
        7.儲存與運輸
        在不使用氦質(zhì)譜檢漏儀時,注意妥善儲存和運輸。避免長時間曝露在潮濕、高溫和塵埃環(huán)境中,以防止儀器受損和性能下降。使用適當?shù)陌b和保護材料,確保儀器在運輸過程中不受損壞。
        通過遵循上述校準與維護步驟,可以確保全自動氦質(zhì)譜檢漏儀的長期穩(wěn)定性和準確性,延長其使用壽命,并為用戶提供可靠的漏氣檢測服務。
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